ЛГИ-503

Параметры лазера на молекулярном азоте с продольным возбуждением разряда ЛГИ-21 и ЛГИ-503: длина волны излучения – 337 нм; частота повторения импульсов – до 100 Гц; средняя мощность излучения – не менее 3 мВт; энергия излучения – не менее 0,03 мДж; диаметр пучка излучения – 3 мм; расходимость излучения – 3 мрад; режим охлаждения – воздушный; габаритные размеры излучателя – 120x120x700 мм; наработка – 1000 ч.

Азотные лазеры, благодаря своим уникальным характеристикам, короткой длине волны (337 нм), малой длительности импульса излучения (10 нс) и сравнительно высокой мощности излучения (0,01¸1мВт), нашли широкое применение в технологии микроэлектроники.

Короткая длина волны позволяет фокусировать излучение в пятно малых размеров и обрабатывать элементы на уровне долей мкм, к тому же максимальная чувствительность многих типов фоторезистора, применяемых в микроэлектронике, лежит в этой области. Малая длительность импульса в сочетании с высокой импульсной мощностью позволяет испарять слои металлов, не затрагивая подложку, на которую они наносятся, что весьма существенно для многих применений. Лазеры типа ЛГИ-21 применяются в лазерных установках типа «кварц» для подстройки монолитных фильтров, кварцевых резонаторов, а также при исследованиях, оптимизации топологии и изготовлении мелких партий интегральных схем с пленочными резонаторами. Также установки относительно недороги, скорость обработки пленочных покрытий на них составляет несколько миллиметров в секунду, а производительность до 100 операций в час.